TESCOM™ Druckregler der Serie 64-3600 für hochempfindliche Anwendungen

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Produktbeschreibung

Regler der Serie 64-3600 sind Druckminderer mit fester mechanischer Verbindung zwischen Ventilstößel und Membran für ultrahochreine und hochempfindliche Anwendungen mit niedrigem Druckabfall, einer Oberflächengüte innen von 10 Ra / 0,25 µm und Innengarnitur in optionalem Hastelloy^®. Eingangsdrücke von 600 oder 3 500 psig / 41,4 oder 241 bar mit Ausgangsdrücken bis 150 psig / 10,3 bar. Ideal geeignet für die Verwendung in 1/4 in. Entnahmestellen, Gasflaschenschränken, für die Fertigung von Halbleitern und in Ventilblöcken.

Spezifikationen

Druckstufe: Maximaler Eingangsdruck: 600 oder 3 500 psig / 41,4 or 241 bar
Auslassdruckbereiche: 30, 60, 100, 150 psig / 2,1, 4,1, 6.9, 10,3 bar

Gehäusewerkstoff: Elektropolierter Edelstahl 316L oder elektropolierter Edelstahl 316L VAR

Membran: Hastelloy®

Ventilsitz: PCTFE, Teflon PFA® oder Vespel®

Stößel und Ventilfeder: Edelstahl 316

Sonstige Teile: Edelstahl 316 oder Hastelloy®

Betriebstemperatur: Teflon® PFA-Sitz: -40 bis 160 °F (-40 bis 71 °C)
Vespel®-Sitz: -40 bis 350 °F (-40 bis 177 °C)
PCTFE-Sitz: -40 bis 140 °F (-40 bis 60 °C)

Anschlussgröße und -art: 1/4 in., 1/2 in.
Druckschraube, schwenkbar, Überwurfmutter, Druckschraube, fest, HPIC
1/4 in. Rohrstutzen

Durchflussrate: Cv = 0,15 oder 0,06

Gewicht: 2 lbs / 0,9 kg

Weitere Informationen: Weitere Informationen zu spezifischen Modifikationen oder kompletten Systemlösungen erhalten Sie von Ihrem lokalen Vertriebsbüro.

Merkmale

Oberflächengüte innen von 10 Ra / 0,25 µm
Ausgezeichnete Dichtheit durch ganzmetallische Abdichtung zwischen Membran und Gehäuse
Volle Elektropolierung der Innenteile verfügbar
Entwickelt für die Reduzierung von Druckschwankungen in Gasversorgungssystemen für die Halbleiterfertigung
Erfüllt die strengen Anforderungen der Halbleiterbranche an Entnahmestellen und
Flaschenstationen